（1）晶圆FOUP的洁净仓储；
（2）智能调度吞吐量400+ wafers/hour；
（3）机械手快速传输。
（1）储存容量高达3200/6400片，提供强大的存储能力；
（2）相对其他制造商，占地面积最小，仅占地70% ；
（3）高速传送确保晶圆处理的快速和可靠性；
（4）可选配N2和XCDA导入功能，提供低氧/低湿存储环境。
